ਸਹਾਇਤਾ ਅਤੇ ਸੇਵਾ

A: 1) ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅਵਸ਼ੇਸ਼ਾਂ ਨੂੰ ਹਰ 50 ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ ਸਾਫ਼ ਕਰੋ; 2) ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੰਪ ਤੇਲ ਦੇ ਪੱਧਰਾਂ ਅਤੇ ਸੀਲ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਮਾਸਿਕ ਜਾਂਚ ਕਰੋ; 3) ਤਿਮਾਹੀ ਕੈਲੀਬਰੇਟ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਨਿਗਰਾਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ। ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਅਸਲੀ ਖਪਤਕਾਰਾਂ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

A: ਧਾਤਾਂ (Al/Ti), ਵਸਰਾਵਿਕ (Si3N4), ਪੋਲੀਮਰ, ਆਦਿ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ। ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਸਬਸਟਰੇਟ ਆਕਾਰ: Φ300mm × 500mm। ਅਨਿਯਮਿਤ-ਆਕਾਰ ਵਾਲੇ ਵਰਕਪੀਸਾਂ 'ਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।

A: ਸਟੈਂਡਰਡ ਮਾਡਲਾਂ ਵਿੱਚ 15kW ਰੇਟਡ ਪਾਵਰ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਮਾਰਟ ਊਰਜਾ-ਬਚਤ ਮੋਡ ਹੈ ਜੋ ਸਟੈਂਡਬਾਏ ਖਪਤ ਨੂੰ 40% ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਫੁੱਲ-ਲੋਡ ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਦੀ ਲਾਗਤ ਲਗਭਗ ¥9/ਘੰਟਾ ਹੈ (¥0.6/kWh ਉਦਯੋਗਿਕ ਦਰ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ)।

A: 1) HMI ਰਾਹੀਂ ਹਾਲੀਆ 10-ਬੈਚ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਕਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕਰੋ; 2) ਚੈਂਬਰ ਸੀਲਿੰਗ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਲੀਕ ਡਿਟੈਕਟਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ; 3) ਰਿਮੋਟ ਡਾਇਗਨੌਸਿਸ ਲਈ ਤਕਨੀਕੀ ਸਹਾਇਤਾ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰੋ (24/7 ਉਪਲਬਧਤਾ)।